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產(chǎn)品名稱

電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)60x60

信息

適用于硅片的打標(biāo)等的微小角度調(diào)整用自動(dòng)平臺(tái)。

最大速度 60°/sec

平臺(tái)臺(tái)面材料 鋁合金

傳感器型號(hào) 微型光電傳感器：GP1S097HCZ(夏普(株))

臺(tái)面尺寸 φ60mm

傳動(dòng)副間隙 0.05°

分辨率(半步) ≒0.0027°/脈沖

分辨率(整步) ≒0.0053°/脈沖

扭矩剛度 1″/N?cm

極限位置傳感器 有(常閉)

空行程 0.003°

定位精度 0.05°

導(dǎo)軌形式 滾動(dòng)軸承

驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 滾珠絲杠＋鋼帶

轉(zhuǎn)動(dòng)范圍 ±5°

近接原點(diǎn)傳感器 無(wú)

重復(fù)定位精度 0.003°

原點(diǎn)傳感器 有(常開(kāi))

最小位移量 (參考數(shù)據(jù)) 0.5mdeg

自重 0.5kg

承載能力 29.4N（3.0kgf）

同心度 10μm

表面處理 黑色氧化

平行度 50μm

臺(tái)面跳動(dòng)量 0.01mm

傳感器　信號(hào)的含義 遮光時(shí)：輸出晶體管OFF(截止)：極限位置傳感器

遮光時(shí)：輸出晶體管ON(導(dǎo)通)：原點(diǎn)傳感器

傳感器　消耗電流 60mA以下(單個(gè)傳感器20mA以下)

傳感器　輸出端電氣特性 NPN集電極開(kāi)路輸出　DC30V以下50mA以下

傳感器　電源電壓 DC5～24V±10％

電機(jī)　步距角 0.72°

電機(jī)　類型 5相步進(jìn)電機(jī)　0.75A/相(多摩川精機(jī)(株))

電機(jī)　型號(hào) TS3664N4E10（□24mm）

控制器 GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M?HIT-S、PGC-04-U、HSC-103

驅(qū)動(dòng)器SG-5M?SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL